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統合回路、MEMS、およびオプトエレクトロニクスなどの高度な製造の分野では、誘導結合プラズマエッチング（ICPエッチング）テクノロジーは、ディープシリコンエッチング、高度な比率構造処理、精密パターン移動などの重要なプロセスで広く使用されています。エッチング効果の安定性と均一性は、プラズマの密度とエネルギー制御に依存するだけでなく、高クリーン、高シール、高解放性のガス送達システムと分離できません。このシステムのコア構造では、超高純度ステンレス鋼パイプアセンブリとダブルスクリューコネクタが「ガスライフブラッド」としてかけがえのない役割を果たします。
1。ICPエッチング：ガスシステムの最終的な要件を提出します
ICPエッチング機は、上部誘導コイルを介して高密度プラズマを励起し、低電極バイアス電圧で高い異方性エッチングを達成します。マイクロナノメートルスケールでエッチング深度とサイドウォール角を正確に制御するには、反応ガスのタイプ、割合、流量、および純度は安定して制御可能でなければなりません。
実際のエッチングプロセスでは、一般的に使用されるガスには以下が含まれます。
•Cl₂、Sf₆、Bcl₃などのハロゲンガス：シリコンや酸化物などの材料のエッチングに使用。
•O₂：酸化剤または灰酸化剤。
•AR、HE：血漿安定剤または希釈ガス。
•腐食性副産物：真空システムによって時間内に抽出する必要があります。
わずかなガス汚染、漏れ、または流れの変動は、不均一なエッチング、側壁の崩壊、粒子状汚染などのプロセス障害の問題につながります。したがって、ガス通過システムは正確であるだけでなく、非常にきれいで、漏れがゼロ、腐食耐性があり、安定しており、信頼性が高い必要があります。これは、超高純度鋼管アセンブリの中核的な値です。
2。超高純度鋼パイプアセンブリの構成と技術的ハイライト
✅構造構成：
•316Lシームレスステンレス鋼パイプ（EPグレード）：粒子が接着と沈殿を防ぐために、表面粗さRA <0.2μmを備えた電気版画内の壁処理を採用します。
•デュアルスクルーステンレス鋼ジョイント：高温、高圧、高腐食に耐性のある金属密閉構造、および有機汚染を避けます。
•ヘリウム気密検出：完全なアセンブリはヘリウム質量分析によって漏れ、漏れ速度は1×10µpa・m³/s未満です。
•CGA/SEMI標準ポート：世界の主流の半導体デバイスインターフェイスとシームレスに互換性があります。
✅技術的利点：
機能の説明
6N（99.9999％）のガス配達の要件を満たす、超高でクリーンなオイルフリーで不純物のない治療プロセス
高気密シールデザイン、ゼロ漏れ操作、高真空システムに適しています
高信頼性ファクトリープレハブ、高速オンサイトインストール、信頼性の高い繰り返し分解
すべての主流のエッチングガス、長期および安定した操作に適した超腐食抵抗
パーソナライズされたカスタマイズをサポートし、曲がったパイプ、スレッドインターフェイス、フランジ溶接接続などの構造フォームをカスタマイズできます。
3。ICPエッチングシステムの重要なアプリケーション
ICP機器では、超高純度のスチールパイプアセンブリが主に次のシステムノードで使用されています。
1。エッチング反応ガスメインチャネル
ガスシリンダーをエッチング反応チャンバーと接続して、高純度ガスが損失や汚染なしにプラズマ反応ゾーンに輸送されることを保証することが、品質安定性のエッチングの中核的な保証です。
2。MFC質量流量制御フロントおよびリアセクション
デュアルスクリューコネクタと組み合わせて、正確で制御可能なガスフラックスを実現し、プロセスパラメーターの一貫した制御を支援します。
3。真空排気の通過
耐性耐性鋼管アセンブリは、真空バルブとコールドトラップと組み合わせて、エッチング副産物の残留抽出を実現し、真空チャンバーの汚染速度と機器の洗浄頻度を効果的に削減します。
4.なぜホースを使用してそれらを交換できないのですか？
産業用ホースは、一部の低需要システム（パージ、冷却水など）で使用できますが、ICPメインエア回路システムでは、ホースには深刻な制限があります。
•内側の壁の清潔さは基準を満たすのが難しく、沈殿のリスクがあります。
•長期使用は、老化、ガスの浸透、および圧力変形が発生しやすい。
•接続フォームの気密性は不十分で、腐食性ガスに抵抗することは困難です
•温度変動の影響を受け、流れの障害を引き起こします。 、
したがって、ホースの置換は、安定性をエッチングする潜在的な脅威をもたらし、鋼管アセンブリは、高純度エッチングガスを運ぶことができる唯一の工業用グレードソリューションです。
5。結論：「輸送ガス」から「収穫量の保護」まで
今日のウェーハ製造収量管理では、すべてのプロセスに欠陥があることは許可されていません。ガスの漏れや汚染の小さな供給源は、数十のウェーハが廃棄されたり、機器の停止さえもしていることを意味する場合があります。超高純度の鋼鋼管アセンブリは、目に見えない場所のガス、機器の安定性、製品の一貫性を静かに保護する「ライフライン」です。
高品質のICPエッチングガス回路システムを選択することは、一連のアクセサリーを選択するだけでなく、プロセスの安定性、生産の安全性、将来の再現性を担当することでもあります。
