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UHP超純度ガス配管

温度範囲: -254°C から +538°C

最高動作圧力: 620 bar (9000 psi)

表面仕上げは SEMI F20 規格に適合

フィルター:
KUNGFLEX 高純度ガス鋼管は 316L / 316L VAR 高純度シームレスステンレス鋼基材から製造されています。冷間圧走溶体化処理と電解研磨を経ると、内壁の表面仕上げは SEMI F20 規格を満たし、粒子释放と脱ガス率が低くなります。半導体プロセスの超高純度特殊ガス供納ラインに適しています。VCR 続手とダブルフェルール続手と組み合わせて、クリーンなガスラインシステムを構築できます。
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