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316L 両カシメ式硬管アセンブリ

KUNGFLEXの316L両カシメ式硬管アセンブリはSUS316Lステンレス鋼を採用し、半導体業界の超高純度ガス、プロセス冷却水和真空搬送ラインに適しています。配管は高精度CNCベンディングによりシームレスな一体成形(溶接なし)とし、内面は電解研磨によってガス放出と溶出物を低減しています。

両カシメシール構造により組付けが容易で、繰り返しの組立・分解後も確実なシールを維持し、漏れリスクを排除します。製品は図面に基づき曲げ形状、配管長さ、継手仕様をカスタマイズでき、VCRやカシメ継手など各種接続形式に対応します。清浄度は半導体FAB工場の配管基準を満たし、ウェハプロセス装置、温度制御TCU、チラー、機台ガス分配モジュール、ガスキャビネットなどの用途に安定して組み込めます。

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