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半導体冷却ホースの選び方：FEP/PFA 材質、SEMI F57 規格、クリーンな液冷の要点

2026-10-19

ウェハ工場や半導体製造装置では、冷却管路が「見えない命脈」です。露光装置、エッチング装置、プローブステージ、老化試験装置はいずれも液冷による温度管理に依存しています。通常の産業用冷却と異なり、半導体用冷却液が管路自体に汚染されると、粒子や金属イオンがチップの歩留りを直接脅かします。半導体冷却ホースの選定の要点を整理します。

一、なぜ半導体冷却ホースは要求が厳しいのか

二、素材の選び方：FEP、PFA、PTFE それぞれの役割

半導体のクリーンルームで使われる冷却ホースとステンレス継手の設置シーン

三、数値だけで見ない：SEMI F57 が高純度環境の基準

四、先に媒体と使用条件を確認してから素材を決める

五、接続の相性：継手が保守効率を決める

六、選定チェックリスト（購入前に1項目ずつ確認）

上海倍潤油圧機器有限公司（KUNGFLEX）について

上海倍潤油圧機器有限公司（ブランド KUNGFLEX）は、以来17年にわたり油圧流体接続部品の分野で活動してきました。ISO 9001:2015 品質マネジメントシステム認証を保有し、Gates（ゲイツ）の正規代理であり、Parker（パーカー）、Manuli（マヌリ）、SPIR STAR（スパイスター）、Polyhose（ポリホース）、ALFAGOMMA（アルファゴーマ）、Eaton（イートン）等、国際ブランド製品を取扱っています。

主要テスト能力：4000 kg / 約400 MPa の超高圧油圧ホース組立の耐圧（バースト）試験能力（標準作動圧の約10倍）。
主力製品：油圧ホース組立、産業用フィッティング、クイックカ플リング、ボールバルブ、鋼管組立；液冷コネクタ（SQ300 シリーズ、316L 素材、ヘリウム質量分析器によるリーク検知、5000 サイクル耐久試験）；水素配管ソリューション（製造 / 貯蔵・輸送 / 充填 / 利用の4つのシーン）。
市場展開：製品の輸出先80か国以上、南通に2000 m²の近代的生産工場を保有。
全国サービスホットライン：400-820-9728 携帯：13764595878
E-mail：shbeirun@126.com
本社住所：中国上海市嘉定区嘉松北路4777号2棟101室・201室

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